SCAN TECH'95プログラム

時代に乗り遅れないためのSEM技術

−チャージアップなんて怖くない−

帝京大学箱根セミナーハウス(神奈川県箱根町)

1995年9月1日(金)
演題 講演者 所属
1.帯電のメカニズムと像への影響 小野昭成 日本電子データム
2.様々な試料におけるチャージアップとその防止法
  生物試料取り扱いの例から 近藤俊三 三菱化学生命研
  低融点油脂観察時のダメージとその軽減法 木村利昭 雪印乳業・技研
  微生物試料におけるチャージアップとその防止法 西山彌生 帝京大・医真菌研
  半導体、電子部品材料 稲里幸子 松下テクノリサーチ
  材料 吉田 明 武蔵工大
  Cryo-SEMによる植物病原菌の生体内元素分析の試み 岩崎秀子明治乳業・ヘルスサイエンス研
3.試料作製によるチャージアップの防止とその落とし穴
  導電染色法とその落とし穴 高橋一郎 帝京大・医
  試料のマウント法とコーティング法 久芳聡子 トプコン
4.観察条件によるチャージアップの防止法 山田満彦 日立計測エンジニアリング
佐藤 貢 日立・計測器
5.観察条件の選択によるチャージアップ防止法の落とし穴 小倉一道日本電子


1995年9月2日(土)
演題 講演者 所属
1.チャージアップを克服する最新技法(1)
  低真空SEM法 久芳聡子 トプコン
  低加速電圧SEM法によるチャージアップの克服 山田満彦 日立計測エンジニアリング
佐藤 貢 日立・計測器
2.チャージアップを克服する最新技法(2)
  試料加熱によるチャージアップ防止の可能性 小倉 一道 日本電子
  試料コーティングについて 中川美音、山田満彦 日立計測エンジニアリング
佐藤 貢 日立・計測器
  プラズマ製膜法と作製装置 田中 昭 日本レーザ電子
  界面活性剤 加藤 勝 日製産業
  SEM像における帯電現象の悪影響を緩和するための画像処理技術 於保英作 工学院大