| 演題 | 講演者 | 所属 |
| イントロダクション | 10:00～10:20 | |
| デジタルSEMの最新機能 | 10:20～11:50 | |
| SEMにおける自動軸調整機能・自動焦点深度拡大機能 | 佐藤 貢 高根 淳 |
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| 超高精細デジタル画像はアナログを超えたか？ | 石田紀之 山田直子 |
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| オートモンタージュ活用のためのノウハウ | ||
渋谷和好 |
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| 昼食 | 11:50～13:00 | |
| 元素分析の最新機能 | 13:00～14:00 | |
| バルク試料分析のための最新機能 ～EDX(EDS)の限界を超える～ | ||
| FE-SEMにおける薄膜試料分析のための最新機能 | ||
| SEM機能拡大の方向性(Ⅰ) | 14:00～15:00 | |
| ラマン分光計SEM複合装置による構造解析 | ||
| ネットワークSEMの実際と方向性 | 溜池あかね 三石和貴 戸田弓雄 福田芳雄 長谷川 明 竹口雅樹 古屋一夫 |
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| 休憩 | 15:00～15:15 | |
| SEM機能拡大の方向性(Ⅱ) | 15:15～16:45 | |
| マイクロファブリケーションSEMの可能性 | ||
| 汎用SEMを利用しての電子線描画装置による微細加工について | 小坂光二 |
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| 自動検査SEMの実際と今後の展開 | ||
腰原俊介 細谷弥生 |
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| ミキサー | 17:00～19:00 | |
| SEMにおける自動軸調整機能・自動焦点深度拡大機能 |
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| 小柏 剛，佐藤 貢，高根 淳（日立ハイテクノロジーズ） |
| 近年の画像処理技術の進歩やPCの高性能化によって，ノイズの多いSEM像でも，画像間の視野ずれや合焦点領域の検出を高速かつ高精度に行えるようになった。 こうした画像処理技術と，SEMの電子光学系制御とを組み合わせることで，電子ビームの光軸を高精度にアライメントする自動軸調整機能と，SEM像の焦点深度を電子光学系の能力以上に深くする焦点深度拡大機能を実現した。 今回は，これらの機能の原理と，インレンズSEMに適用した場合の有用性について報告する。 |
| 超高精細デジタル画像はアナログを超えたか？ |
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| 後藤勝人，石田紀之，山田直子（サンユー電子） |
| このところ高精細画像という言葉が一般的に使われるようになってきましたが， SEMでの画像を高精細画像装置で撮った画像で何が見えてくるのか，何が違うのかをご自分の目で確かめてください。 |
| オートモンタージュ活用のためのノウハウ |
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| 高橋一郎（帝京大・医），鈴木康朗（日本電子），金山みゆき，渋谷和好（日本電子エンジニアリング） |
| オートモンタージュとは，モーター駆動ステージを利用して，画像を貼り合せる手技であり，SEMがPC化されてきたことで従来のアナログ写真を貼り合せる方法をデジタル画像上で行うことが可能になった。 今回我々は繋ぎ写真作成時におけるポイントとして，１）試料作製法，２）光学系および検出器の影響などについて，具体例を示しながら討論する。また，この手法を利用した広域元素マッピングも紹介する。 |
| バルク試料分析のための最新機能 ～EDX(EDS)の限界を超える～ |
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| 村瀬 潤（堀場製作所） |
| エネルギー分散型X線分析装置（EDX）は、高い検出感度や操作性の良さから急速な普及を遂げてきたが，最近いくつかの新たな機能が付加されその守備範囲が一層広がりつつある。 今回は，自動定性分析の信頼性を大きく向上させるスペクトル処理機能，元素分布（マップ）情報から材質別の相に分離し複数元素の組成比情報を提示する相分析機能，冷凍機方式冷却システムを採用した冷媒供給の不要なメンテナンスフリー検出器などを紹介する。 |
| FE-SEMにおける薄膜試料分析のための最新機能 |
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| 藤谷 洋（日本エフイー・アイ） |
| 最近では，FE-SEMにおける薄膜試料の透過電子像(STEM:Scanning Transmission Electron Microscope) が注目されている。 この手法で観察をするとバルク試料での画像より高分解能像が得られる。 また，この手法では，観察と同時にEDX分析も可能である。 しかし，EDX分析の殆どが高倍率で行なう為，画像のドリフトが問題になることがある。 特に，EDXによる元素マッピングのデータ取得には数十分の時間を要する為，問題になる。 そこで，今回は新機能の元素マッピングドリフト補正を用いて薄膜試料を高倍率でデータを紹介する。 |
| ラマン分光計SEM複合装置による構造解析 |
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| 川内一晃（日本電子） |
| SEMは材料の解析に欠くことができないツールになっており，さらにX線分光器EDSを接続して元素分析も行われ，画像観察と元素分析による材料解析に大きな威力を発揮している。 本報では，この装置の組合せに振動分光手法のひとつであるラマン分光計を接続して，観察画像，元素分析，ラマンスペクトルによる結合状態のそれぞれの情報が取得可能な手法を紹介する。 |
| ネットワークSEMの実際と方向性 |
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| 田中美代子，溜池あかね，三石和貴，戸田弓雄，福田芳雄，長谷川 明，竹口雅樹，古屋一夫（物質・材料研究機構） |
| 本機構では、インターネットを介して遠隔操作でき、リモート材料診断等の共同研究や遠隔理科教育のニーズに対応できる電子顕微鏡の開発・運用を行っている。 これまで、ネットに対応したSEM（JSM-5900LV）及びTEM(JEM-2010F)の開発、ネットを通して操作・データ取得を行える信号伝送技術の開発、IMnetを利用した信号伝送の実験等を進めてきた。 現在日本科学未来館に遠隔端末を設置し、土日を中心に一般公開を行い、来場者が自由にリモート操作体験できるようにしている。 SEMは公開から１年経過し、これまでにおよそ680名の利用者があった。TEMも本年７月から公開を開始し、好評を得ている。 |
| マイクロファブリケーションSEMの可能性 |
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| 土谷康夫（鋼管計測） |
| 近年，走査電子顕微鏡(SEM)は，電界放出型電子銃，電子光学系，デジタル処理技術，PC制御技術などの進歩により分解能の向上は著しい。 また，周辺技術の進歩・向上も目覚しく，その利便性は飛躍的に向上している。 本講演では，ナノテク時代の先駈けSEMである，100Vレベルの極低加速域でnmオーダーの高分解能技術，低真空によるチャージアップ抑制技術，さらには，集束イオンビーム(FIB)を併せ持つクロスビームSEM技術の有用性にふれてみる。 |
| 汎用SEMを利用しての電子線描画装置による微細加工について |
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| 奥寺 智，小坂光二（東京テクノロジー） |
| ナノテクノロジーの時代に入り、人工回折格子、量子ドットなど研究対象物をより小さく、より正確に造ることが急速に要求されるようになりました。 従来のSEM手法における電子ビーム走査においては、限られた極狭い領域内での量子ドットの実現、また線幅20nm前後の細線の作製は、そう難しい要求 ではなくなって来ました。 しかし最適ビームスキャン領域でのこれら微細物の作製は、描画条件にもよりますが電子光学系の物理的要因により、ほぼ100μm角近傍内に制約 てされます。 今回この領域を大きく超えての微細線加工の実現の可能性について述べます。 |
| 自動検査SEMの実際と今後の展開 |
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| 多持隆一郎（日立サイエンスシステムズ） |
| 最近，半導体のプロセス管理においてはウェーハ上のパターン欠陥や付着異物が致命的な欠陥となるか否かの判別を，SEM情報によって自動的に行うシステムが実用化されている。 これらはSEMの二次電子情報，反射電子情報，表面電位情報を用いて判別対象の形状やコントラストなど特徴量を認識し，ある特定の基準に従い自動篩分けを行うものである。 今回は，この自動分類システムの装置構成，機能を簡単に紹介するとともに，こうした技術の新たな分野への応用を模索する。 |